School of Instrument and Electronics
时间：2020/03/30 发布人：
仪器名称
超高真空非接触式原子力显微镜（AFM）
设备型号
UHV-NC-AFM
技术指标
➢ 二次电子像分辨率：0.8nm@15 kV，
➢ 真空度：≤5×10-11Torr；
➢ 空间三维分辨率：横向0.1nm；纵向0.001nm；
➢ 表面势能分辨率：毫电子伏（meV）
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