School of Instrument and Electronics
时间：2020/03/30 发布人：
仪器名称
台阶仪
设备型号
KLA Tencor P-7
技术指标
➢ 扫描水平方向连续扫描长度：150mm
➢ 扫描垂直方向长度：1mm
➢ 扫描垂直方向精度：4Å；
➢ 最佳垂直方向测试距离：1μm；
➢ 探针直径：2μm
➢ 样品尺寸：6 inch，向下兼容，非规则样品
➢ 测量温度：22℃
➢ 样品基底材料：Si，Si3N4，SiO2, 玻璃，金属，陶瓷，PCB板，以及PI、PDMS等各种聚合物
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