School of Instrument and Electronics
时间：2020/03/26 发布人：王华梅
仪器名称
设备型号
技术指标
➢ 工作室容积：直径1500×1000mm
➢ 承载冷板尺寸：800×900mm
➢ 热沉温度范围：-80～220℃
➢ 温度偏差：≤±2℃（空载）
➢ 温度均匀度：≤3℃空载）
➢ 升温速率：室温至150℃≤80min
➢ 降温速率：室温至-70℃≤60min
➢ 低压放电试验：在5Pa-1000Pa区间具备压力和高温设定控制功能
➢ 极限真空度:5x10-5Pa
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